詳細介紹
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規格 |
XY軸 |
θXθY軸 |
Z軸 |
θZ軸 |
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有效行程 |
±30mm |
±2.5deg |
±5mm |
360deg |
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電機類型 |
直線電機 |
步進電機 |
步進電機 |
直驅電機 |
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光柵分辨率 |
4.88nm（1vpp） |
4.88nm（1vpp） |
4.88nm（1vpp） |
0.04sec |
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最小步長 |
100nm |
0.3sec |
100nm |
0.1sec |
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重復定位精度 |
±0.2um |
±1sec |
±0.3um |
±1sec |
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定位精度 |
±1um |
±5sec |
±1um |
±5sec |
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最大速度 |
100mm/s |
30deg/sec |
15mm/s |
4rps |
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最大負載 |
水平負載10kg，垂直使用負載請聯系廠家溝通 |
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最大質量 |
整機重量12kg |
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PS:
1、以上所有精度都為廠家標準控制器在實驗室環境中理想條件測試所得
2、接受特殊型號及尺寸定制
關鍵詞:
吉螢光電
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