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詳細(xì)介紹
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參數(shù) | 參數(shù) |
U1LM200-100 |
-200 |
-300 |
-400 |
-500 |
-600 |
-800 |
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有效行程 [mm] |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
800 |
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光柵分辨率 [nm] |
100nm（數(shù)字量標(biāo)配）可選配其他型號光柵分辨率或1vpp模擬量 |
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重復(fù)定位精度 [nm] |
≤±0.5um |
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定位精度 |
未校準(zhǔn)±4um/100mm （校準(zhǔn)后可小于±1.5um） |
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直線度 [um] |
±1.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±4 |
±5 |
±6.5 |
±8 |
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平面度 [um] |
±1.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±4 |
±5 |
±6.5 |
±8 |
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電機推力 |
持續(xù)132N/峰值232N |
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最大速度 |
2m /s |
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最大加速度(空載) |
3G |
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移動部分負(fù)載 |
6.5kg |
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水平負(fù)載 [kg] |
40kg |
||||||
|
側(cè)面負(fù)載 [kg] |
20kg |
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