詳細介紹
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規格 |
參數 |
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Z軸最大行程 |
±5mm |
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Z軸分辨率 |
4.88nm |
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Z軸重復定位精度 |
±0.2um |
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位置穩定性 |
±20nm |
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最大速度 |
5mm/s |
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最大加速度 |
2m/s |
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θX/θY 最大行程 |
±2.5° |
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θ軸分辨率 |
0.15sec |
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θ軸重復定位精度 |
±1sec |
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最大速度 |
1°/s |
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最大加速度 |
20°/s^2 |
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配重平衡方式 |
氣動衡力平衡（最小氣壓0.1MPa 最大氣壓0.6MPa） |
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最大負載 |
20kg |
關鍵詞:
吉螢光電
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