μSCAN系列產品|標準機型（支持輕定制）

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亞微米定位平臺

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μSCAN系列掃描系統為我司近期推出的高性能一體式系統，整機采用了高剛性的花崗巖作為底座，配合高性能直線電機及伺服平臺，主要用于高精度掃描、加工、檢測等應用。標準行程參數選擇支持快速出貨，大大減少了客戶自己組合搭配不熟悉導致的組合缺陷及調試不熟悉導致的性能短板。

μSCAN系列主要特征

• XY軸為U1系列高性能直線電機平臺組成（迷宮式密封防護效果好沒有易損件和粉塵）
• R軸為高精度扁平化DD馬達 Z軸標配U3系列高精度伺服電機平臺（可選配NFZ240高性能直線電機平臺）
• 底座為濟南青或印度黑等高性能石材，精度可選0級或00級
• 可根據應用要求選配機架及隔振系統
• XY運動系統經過優化，支持快速啟停、連續整定應用（10kg負載2mm行程運動加整定＜30ms（運動時間20ms，整定時間5-8ms））*1

規格\軸（從下往上）	Y軸	X軸	R軸	Z軸
標準軸型號	U1LM320-XX	U1LM240-XX	DDR224	U3SVM210-XX
行程	100/200/300/400	100/200/300/400	360°	50/100/200/300
光柵分辨率	100nm	100nm	1sec	-
重復定位精度	≤1um（±0.5）	≤1um（±0.5）	≤±1sec	≤3um（±1.5）
最大速度*2	1000mm/s	1000mm/s	4rps	200mm/s
最大負載	50kg			30kg
電機推力	220N/440N（峰值）	330N/660N（峰值）	20Nm	-
運動平面度	≤±5um	≤±5um	≤5um	≤±5um