詳細介紹
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參數 | 項目 |
LMT-XY-200X200 |
ABVT-Z20(氣浮導軌) |
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電機類型 |
三相無鐵芯電機 |
音圈電機 |
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光柵分辨率 |
默認100nm數字量 |
1vpp 細分至5nm |
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電機推力 |
持續60N/峰值210N |
持續27N/峰值119N |
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最小步長[nm] |
200nm |
100nm |
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行程 [mm] |
200x200 |
10 |
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重復定位精度 [um] |
±0.3 |
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定位精度 [um] |
±1 |
±0.5 |
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平面度 [um] |
10um |
5um |
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直線度 [um] |
1um |
1um |
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最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
30mm/s |
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最大負載 [kg] |
5kg（Z軸帶氣動恒力平衡配重） |
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關鍵詞:
吉螢光電
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