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詳細(xì)介紹
XYZ一體式組合
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參數(shù) | 項(xiàng)目 |
LMT-XY-200X200 |
NFZ10 |
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電機(jī)類型 |
三相無(wú)鐵芯電機(jī) |
音圈電機(jī) |
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光柵分辨率 |
默認(rèn)100nm數(shù)字量（可選1vpp模擬量或者其他分辨率） |
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電機(jī)推力 |
持續(xù)60N/峰值210N |
持續(xù)30N/峰值90N |
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最小步長(zhǎng)[nm] |
200nm |
200nm |
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行程 [mm] |
200x200 |
10 |
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重復(fù)定位精度 [um] |
±0.3 |
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定位精度 [um] |
±1 |
±0.5 |
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平面度 [um] |
10um |
8um |
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直線度 [um] |
1um |
1.5um |
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最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
50mm/s |
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最大負(fù)載 [kg] |
5kg（Z軸帶氣動(dòng)恒力平衡配重） |
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關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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在線詢價(jià)
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量身定制各種光電行業(yè)產(chǎn)品及方案
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