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詳細(xì)介紹
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參數(shù)\型號 |
UMS130-60X |
-110X |
-160X |
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電機(jī)類型 |
三相無鐵芯電機(jī) |
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光柵類型 |
增量式光柵0.1um（可選最高1nm光柵，絕對式選配） |
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電機(jī)推力 |
額定40N 峰值90N |
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加速度（空載） |
3G |
2.5G |
2G |
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限位類型 |
機(jī)械、光電、軟件（三重限位保護(hù)） |
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材質(zhì) |
鋁合金6061-T6（可選不銹鋼） |
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行程 mm |
60 |
110 |
160 |
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定位精度 um |
±3um（校準(zhǔn)±0.5um） |
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重復(fù)定位精度 um |
±0.1um（±50nm 對應(yīng)5nm以上光柵） |
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最大速度 mm/s |
300mm/s |
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最大負(fù)載 kg |
6 |
8 |
12 |
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