詳細介紹
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參數 | 型號 |
LMS250GT-500X |
-1000X |
-1500X |
-2000X |
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有效行程 [mm] |
500 |
1000 |
1500 |
2000 |
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光柵分辨率 [nm] |
默認 0.1um （最高1nm可選） |
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重復定位精度 [um] |
±0.3 |
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定位精度 [um] |
2um/100mm （校準后可小于0.5um/100mm） |
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平面度 [um] |
±2.5 |
±5 |
±7.5 |
±10 |
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直線度[um] |
±2 |
±5 |
±7.5 |
±10 |
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最大速度 [m/s] |
2 |
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最大加速度 [G] |
4 |
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最大負載 [kg] |
300 |
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L [mm] |
920 |
1420 |
1920 |
2420 |
關鍵詞:
吉螢光電
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