詳細介紹
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參數 | 項目 |
NF240-Z100 |
NF240-Z200 |
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電機類型 |
雙直線電機驅動 |
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光柵分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） |
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電機推力 |
持續60N/峰值210N |
持續120N/峰值420N |
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最小步長[nm] |
50nm(搭配nanopwm或者線性驅動器) |
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行程 [mm] |
100 |
200 |
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重復定位精度 [um] |
±150nm |
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定位精度 [um] |
±300nm（干涉儀校準） |
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平面度 [um] |
≤±2.5um |
≤±3.5um |
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直線度 [um] |
1.5um |
2um |
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最大速度 [mm/s] |
300mm/s |
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最大負載 [kg] |
25kg(采用氣動恒力彈簧平衡) |
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關鍵詞:
吉螢光電
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