μSCAN系列

μSCAN系列掃描系統(tǒng)為我司近期推出的高性能一體式系統(tǒng)，整機(jī)采用了高剛性的花崗巖作為底座，配合高性能直線電機(jī)及伺服平臺(tái)，主要用于高精度掃描、加工、檢測(cè)等應(yīng)用。標(biāo)準(zhǔn)行程參數(shù)選擇支持快速出貨，大大減少了客戶自己組合搭配不熟悉導(dǎo)致的組合缺陷及調(diào)試不熟悉導(dǎo)致的性能短板。

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詳細(xì)介紹

μSCAN系列主要特征

XY軸為U1系列高性能直線電機(jī)平臺(tái)組成（迷宮式密封防護(hù)效果好沒有易損件和粉塵） R軸為高精度扁平化DD馬達(dá) Z軸標(biāo)配U3系列高精度伺服電機(jī)平臺(tái)（可選配NFZ240高性能直線電機(jī)平臺(tái)）底座為濟(jì)南青或印度黑等高性能石材，精度可選0級(jí)或00級(jí) 可根據(jù)應(yīng)用要求選配機(jī)架及隔振系統(tǒng) XY運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，支持快速啟停、連續(xù)整定應(yīng)用（10kg負(fù)載2mm行程運(yùn)動(dòng)加整定＜30ms（運(yùn)動(dòng)時(shí)間20ms，整定時(shí)間5-8ms））*1

規(guī)格\軸（從下往上）	Y軸	X軸	R軸	Z軸
標(biāo)準(zhǔn)軸型號(hào)	U1LM320-XX	U1LM240-XX	DDR224	U3SVM210-XX
行程	100/200/300/400	100/200/300/400	360°	50/100/200/300
光柵分辨率	100nm	100nm	1sec	-
重復(fù)定位精度	≤1um（±0.5）	≤1um（±0.5）	≤±1sec	≤3um（±1.5）
最大速度*2	1000mm/s	1000mm/s	4rps	200mm/s
最大負(fù)載	50kg			30kg
電機(jī)推力	220N/440N（峰值）	330N/660N（峰值）	20Nm	-
運(yùn)動(dòng)平面度	≤±5um	≤±5um	≤5um	≤±5um