詳細介紹
| 產品型號：MWA06系列 | ||
| 結構描述 | 產品型號 | MWA06-50135H |
| 臺面尺寸 | 135*135mm（M6均布） | |
| 外形尺寸 | 220×202×225mm | |
| 驅動方式 | 測微頭 | |
| 驅動位置 | 側向驅動 | |
| 導軌形式 | 交叉滾柱導軌 | |
| 自重 | 1.5kg | |
| 材料 | 硬鋁 | |
| 表面處理 | 陽極氧化發黑 | |
| 直線+角位 | 每一維都具備刻線 | |
| 精度描述 | 刻度 | ≥10μ/0.5μ |
| 精度 | 3μ/1.5μ | |
| XY分辨率 | 0.001mm | |
| Z分辨率 | 0.005mm | |
| 角度+旋轉 | 0.005° | |
| 調整量 | ≥2μ/0.1μ | |
| 承載 | 15kg | |
| 直線度 | 2μ | |
| 偏擺 | 25” | |
| 俯仰 | 15” | |
| 臺面平行度 | 15μ | |
| 運動平行度 | 7μ | |
| 位移方向 | X:50mm | |
| Y:50mm | ||
| Z:15mm | ||
| θx:12° | ||
| θy:12° | ||
| θz：360° | ||
關鍵詞:
吉螢光電
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