詳細介紹
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靜止狀態 |
工作狀態 |
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最小負載 |
徑向 |
300N |
150N |
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軸向 |
1200N |
600N |
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翻轉 |
30Nm |
15Nm |
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最小剛性 |
徑向 |
80N/um |
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軸向 |
230N/um |
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翻轉 |
0.3Nm/urad |
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同步運動誤差 |
徑向 |
100nm |
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軸向 |
100nm |
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翻轉 |
1urad |
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質量 |
整體 |
9300g |
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轉子 |
3300g |
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轉動慣量 |
0.005kg·m2 |
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最大轉速 |
7,500rpm |
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最大耗氣量 |
23SLPM |
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測試氣壓：0.7MPa
關鍵詞:
吉螢光電
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