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AB-R80系列旋轉氣浮軸承

所屬分類:

詳細介紹

 

 

 

靜止狀態

工作狀態

最小負載

徑向

190N

95N

軸向

500N

250N

翻轉

10Nm

5Nm

最小剛性

徑向

60N/um

軸向

175N/um

翻轉

0.12Nm/urad

同步運動誤差

徑向

100nm

軸向

100nm

翻轉

1urad

質量

整體

3200g

轉子

1300g

轉動慣量

0.0009kg·m2

最大轉速

15,000rpm

最大耗氣量

20SLPM

 

關鍵詞:

吉螢光電

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