詳細介紹
左一：普通版 右一：陶瓷版
陶瓷版本采用了高純度的氧化鋁作為氣浮結構件及導向原件，相對于花崗巖和金屬而言，氧化鋁陶瓷具有膨脹系數更小，且直線度、硬度、耐磨性更加的優點。
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參數 | 項目 |
普通版本 |
陶瓷版本 |
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電機類型 |
三相無鐵芯電機 |
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光柵分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） |
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上軸電機推力[N] |
持續90N 峰值315N |
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下軸電機推力[N] |
持續219N*2 峰值750N*2 |
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上軸空載加速度[g] |
4.5G |
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上軸空載加速度[g] |
3G |
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最小步長[nm] |
10nm(搭配nanopwm或者線性驅動器) |
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行程 [mm] |
360x360 |
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重復定位精度 [um] |
±0.15 |
±0.1 |
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定位精度 [um] |
±0.5 |
±0.3 |
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平面度 [um] |
±1 |
±0.5 |
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直線度 [um] |
1.5 |
1 |
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最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
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最大負載 [kg] |
50kg |
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關鍵詞:
吉螢光電
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