詳細介紹
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項目｜參數 |
參數 |
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電機類型及驅動方式 |
2相步進電機+精密滾珠絲桿 |
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絲桿導程 |
2mm |
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行程 |
110mm x 110mm |
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重復定位精度 |
≤±1.5um |
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定位精度 |
≤±5um（可補償到±2um） |
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最小步長 |
0.1um |
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平面度[um] |
≤±4 |
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直線度[um] |
≤±2 |
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正交性[arcsec] |
≤±3 |
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最大速度[mm/s] |
≥30 |
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最大負載[kg] |
≥10 |
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結構件材質及表面處理 |
鋁合金硬質陽極氧化 |
關鍵詞:
吉螢光電
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