詳細介紹
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參數 | 參數 |
ABL250-100 |
-200 |
-300 |
-400 |
-500 |
-600 |
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有效行程 [mm] |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
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光柵分辨率 [nm] |
5nm（模擬量）可選配其他型號光柵分辨率 |
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重復定位精度 [nm] |
±50 |
±50 |
±100 |
±150 |
±200 |
±250 |
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定位精度 |
2um/100mm （校準后可小于0.3um/100mm） |
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直線度 [um] |
±0.4 |
±0.5 |
±0.6 |
±0.75 |
±1 |
±1.5 |
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平面度 [um] |
±0.4 |
±0.6 |
±1 |
±1.5 |
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最大速度 |
2m /s |
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最大加速度(空載) |
2G |
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水平負載 [kg] |
35kg |
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側面負載 [kg] |
20kg |
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關鍵詞:
吉螢光電
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