詳細介紹
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參數 | 項目 |
EC-ABL-200 |
-300 |
-400 |
-500 |
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電機類型 |
有鐵芯直線電機 |
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光柵分辨率 |
默認0.1um（可選模擬量，最高1nm） |
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電機推力 |
持續90N/峰值190N |
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加速度（空載） |
5G |
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行程 [mm] |
100 |
200 |
300 |
400 |
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重復定位精度 [um] |
≤±0.2um（如選配5nm光柵，最高可達±50nm） |
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定位精度 [um] |
2um/100mm （校準后可小于0.5um/100mm） |
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平面度 [um] |
≤±0.4 |
≤±0.5 |
≤±0.7 |
≤±0.8 |
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直線度 [um] |
≤±0.5 |
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最大速度 [mm/s] |
1000(取決于驅動器及行程) |
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最大負載 [kg] |
10kg |
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關鍵詞:
吉螢光電
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