精巧型三軸組合真空位移臺：VA22EZHXYZ2015

※ XY平移臺采用進口精密滾珠螺桿驅(qū)動，重復(fù)定位精度和絕對定位精度好，軸向間隙小，壽命長；
※ 導(dǎo)軌采用高精度交叉滾柱導(dǎo)軌，運動舒適，承載大，適合單軸或多軸組合使用；
※ 精磨電移臺底板和合理的導(dǎo)軌固定方式大大的降低了電移臺的俯仰和偏擺，使運動的直線度和平行度有較大提高；
※ 升降臺系采用交叉滾珠導(dǎo)軌，保證運動平穩(wěn),承載大，壽命長；
※ 采用精密研配絲杠驅(qū)動，運動舒適，可以任意升降且空回極小；
※ 真空步進電機和絲桿通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接，傳動同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動且噪音小。
※ 電動升降臺平放使用，可與其他種類臺子組成多維電動調(diào)整臺；

所屬分類：

真空組合位移臺

真空倉應(yīng)用

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詳細介紹

產(chǎn)品型號：VA22EZHXYZ2015
結(jié)構(gòu) 描述	真空度	≤10-4pa（低于此真空度皆可使用）
	負載臺面尺寸	60mm
	X、Y軸行程	20mm
	Z軸行程	15mm
	平移傳動方式	THK導(dǎo)軌；TBI絲桿；絲桿導(dǎo)程：1mm
	升降傳動方式	1/2楔形，研磨絲桿，螺距1mm
	主要材質(zhì)	高強度航空鋁材（7075）
	主要材質(zhì)表面處理	真空使用不氧化外觀；二次精磨
精度描述	中心負載	2kg
	分辨率8細分/整步	0.000625mm/0.005mm
	速度	≤2mm/sec
	XY軸重復(fù)定位精度	≤3μm
	Z軸重復(fù)定位精度	≤10μm
	電機類型	35真空步進電機
	電機線	聚醚乙胺線
	電機步進角	1.8°
	額定工作電流	1A
	電源電壓	24V±10%
	限位開關(guān)	光電開關(guān)