三軸低真空組合臺： VA22EZH03200

※ 平移臺采用進口精密滾珠螺桿驅動，重復定位精度和絕對定位精度好，軸向間隙小，壽命長；
v ※ 導軌采用高精度精密線性滑塊導軌，運動舒適，承載大，適合單軸或多軸組合使用；
※ 精磨電移臺底板和合理的導軌固定方式大大的降低了電移臺的俯仰和偏擺，使運動的直線度和平行度有較大提高；
※ 真空步進電機和絲桿通過高品質彈性聯軸節連接，傳動同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動且噪音小。

所屬分類：

真空組合位移臺

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詳細介紹

產品型號：VA22EZH03200
結構描述	真空度	10-3pa（低于此真空度皆可使用）
	負載臺面尺寸	120*120mm
	X軸行程	250mm
	Y、Z軸行程	150mm
	傳動方式	TBI絲桿；絲桿導程：4mm
	導軌	精密線性滑塊導軌
	Z軸中心負載	20Kg
	主要材質	高強度航空鋁材（7075）
	電機類型	42真空步進電機
	電機線	聚醚乙胺線
	電源電壓	24V±10%
	限位開關	光電開關
	表面處理	真空使用不氧化外觀；二次精磨或陽極氧化黑
精度描述	速度	≤30mm/sec
	XY軸重復定位精度	≤±5μm
	表面跳動	≤15μm