產(chǎn)品分類
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兩軸真空電動(dòng)平移臺：EWZ101XY50
※ 產(chǎn)品結(jié)構(gòu)小巧輕薄，適合輕載，低速使用，科學(xué)試驗(yàn)使用；
※ 高品質(zhì)精磨絲杠驅(qū)動(dòng)，小導(dǎo)程，相同細(xì)分?jǐn)?shù)可達(dá)到更高的分辨率；
※ 巧妙的消空回螺母結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可使研磨絲杠副的間隙降到最小；
※ 導(dǎo)軌采用交叉滾柱導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)舒適，有側(cè)向調(diào)整導(dǎo)軌預(yù)緊力和消間隙之功能，可多維組合使用；
※ 兩端裝有零位和限位開關(guān)，方便準(zhǔn)確定位和保護(hù)產(chǎn)品；
※ 可加裝真空光柵尺，接受產(chǎn)品的改制和量身定制；
所屬分類：
詳細(xì)介紹
| 產(chǎn)品型號：EWZ101XY50 | ||
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結(jié)構(gòu) 描述 |
組合方式 | X、Y |
| 行程 | 50mm | |
| 自重 | 3kg | |
| 電機(jī) | 真空步進(jìn)電機(jī) | |
| 真空溫度 | 常溫 | |
| 潤滑脂 | 真空潤滑油脂 | |
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精度 描述 |
設(shè)計(jì)分辨率 | 0.125μm |
| 運(yùn)動(dòng)平行度 | ＜5μm | |
| 俯仰 | 10″（50μrad） | |
| 重復(fù)定位精度 | ＜±2.5μm | |
| 運(yùn)動(dòng)直線度 | ＜±3μm | |
| 偏擺 | 10″（50μrad） | |
| 最高速度 | 5mm/sec | |
| 負(fù)載 | 0-15kg | |
| 真空度 | 10-3pa—10-5pa | |
關(guān)鍵詞:
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